半导体组件CNC加工解决方案

我们为半导体制造提供高精度、高洁净度的CNC加工服务,确保晶圆处理和真空组件满足严格公差和洁净室要求,并支持全程可追溯的质量管理。

我们的优势

为什么选择若尘精密半导体零部件

我们将微米级精度与清洁制造和全程可追溯性相结合。

  • ISO标准微米级质量控制

    符合 ISO 标准的检验、SPC 和首件检验报告确保微米级公差和可重复性。

  • 高精度设备与微米级重复性

    5 轴铣削、微车削和在线探测技术可实现关键特征亚 10 µm 的重复精度。

  • 工程与夹具定制支持

    DFM评审、原型迭代和定制夹具加快了与制造厂和OEM系统的集成。

  • 批次可追溯与洁净室交付

    批次级可追溯性、材料证书和受控运输符合静电放电和洁净室要求。

应用领域

半导体应用领域

    我们为晶圆厂、设备OEM厂商和计量系统加工的典型组件。


    • 晶圆搬运臂和末端执行器
    • 真空法兰、穿线孔和端口
    • 卡盘、静电夹具和晶圆压板
    • 运动平台模块、导轨和编码器安装座
    • 光学支架、对准销和镜头座
    • 气体输送歧管、接头和阀门
    • 探针卡外壳、探针头和插座
    • 定制精密夹具和计量适配器
获取报价
应用

半导体典型部件

  • 真空法兰和馈通装置

    CF/ISO 法兰,定制电气和流体馈通装置,按真空和泄漏率规格加工。

    304L/316L不锈钢、Inconel合金、陶瓷金属组件
  • 晶圆处理组件

    末端执行器、夹爪和机器人接口部件具有严格的同心度和可控的表面光洁度。

    7075-T6铝合金、6061铝合金、PEEK、不锈钢
  • 舞台及运动组件

    精密的平台块、主轴壳体和编码器安装座,具有严格的平面度和形状控制。

    铝合金、硬化不锈钢、工具钢、因瓦合金
过程

我们的服务流程

  • 蓝图
  • 设置
  • 生产
  • 精加工
  • 送货
  • 蓝图

    超高精度与洁净度评估

    我们分析半导体图纸,重点关注真空和晶圆处理组件的平整度、Ra值和洁净度要求。材料和公差均需对照工厂条件进行检查。

    • 审查平坦性、并行性和 Ra 要求
    • 确认材料是否适用于真空和洁净室环境
  • 设置

    清洁导向CNC加工与计量规划

    我们制定了数控程序和夹具,以最大程度地减少夹紧痕迹和污染。我们还制定了计量方案,以实现严格的形状公差和表面光洁度检查。

    • 旨在最大限度减少接触且易于清洁的装置
    • 计量计划包括平面度、平行度和Ra值
  • 生产

    微米级加工与过程监控

    半导体零件采用高精度设备进行加工,并进行过程探测和测量。我们能够控制微米级的公差和表面光洁度,以满足真空和运动平台的要求。

    • 关键表面的在线探测
    • 真空法兰和晶圆台的稳定加工
  • 精加工

    抛光及洁净室兼容处理

    根据具体要求,元件会进行电抛光、钝化或硬质阳极氧化处理。表面经过精细处理,可降低气体释放并易于清洁,然后通过严格的检验。

    • 真空和气体系统的可控表面处理
    • 在强光下检查Ra值和表面缺陷
  • 送货

    洁净包装与全程可追溯

    成品组件经过清洁,根据需要进行双层包装或密封,并贴上包含完整可追溯信息的标签。包装和运输均符合您的洁净室和静电放电防护要求。

    • 洁净室式包装和标签
    • 随附材料和工艺历史记录文件
服务

我们的加工能力

从设计到原型制作再到生产,若尘精密以定制化的高端加工解决方案将您的想法变为现实。

材料

材料与表面处理

我们加工的金属、工程塑料和陶瓷均选用低释气性、热稳定性和耐腐蚀性材料。表面处理则根据导电性、洁净度和严格的表面粗糙度(Ra)要求进行规定。

  • 适用于制造环境的材料选择:不锈钢、铝合金、因瓦合金、PEEK 和低释气技术陶瓷。
  • 表面处理选项包括电抛光、钝化、硬质阳极氧化、镀镍/浸银以及精密抛光,以满足清洁度和 Ra 规格要求。
讨论你的项目

    获取 CNC 报价